基本信息:
- 专利标题： 一种一体化蓝宝石晶圆自动铲片装置
- 申请号：CN202210506944.0 申请日：2022-05-10
- 公开(公告)号：CN114654609B 公开(公告)日：2024-08-16
- 发明人： 孙涛涛 , 吴拓
- 申请人： 芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司
- 申请人地址： 安徽省芜湖市衡山路35号汽车电子创业园A1103-1104
- 专利权人： 芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司
- 当前专利权人： 芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司
- 当前专利权人地址： 安徽省芜湖市衡山路35号汽车电子创业园A1103-1104
- 代理机构： 深圳峰诚志合知识产权代理有限公司
- 代理人： 王红印
- 主分类号： B28D5/00
- IPC分类号： B28D5/00 ; B28D7/04 ; B28D7/00
摘要：
本发明提供了一种一体化蓝宝石晶圆自动铲片装置，包括防尘室，所述防尘室的内部一端安装有载盘搬运架，所述防尘室的内部另一端安装有机械手，所述防尘室的一侧设有铲片机构；所述铲片机构包括安装于所述防尘室一侧的机架，设于所述机架上表面的载盘装载组件，以及设于所述机架内部的定位组件，所述载盘装载组件包括安装于所述机架上表面的装载架，以及设于所述装载架内部、且安装于所述机架上表面的装载盘。本发明能够推动晶圆载盘，使得晶圆载盘进行定心，防止仅限制晶圆载盘位移，而造成的机械手需要较高的精密度，才能完成准确的定心。
公开/授权文献:
- CN114654609A 一种一体化蓝宝石晶圆自动铲片装置 公开/授权日：2022-06-24
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B28 | 加工水泥、黏土或石料 |
| ----B28D | 加工石头或类似石头的材料 |
| ------B28D5/00 | 宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备 |