基本信息:
- 专利标题： 一种全自动MOCVD设备
- 申请号：CN202210293615.2 申请日：2022-03-24
- 公开(公告)号：CN114645322A 公开(公告)日：2022-06-21
- 发明人： 倪明堂 , 赵健州 , 何立波 , 吴俊美
- 申请人： 广东省智能机器人研究院
- 申请人地址： 广东省东莞市松山湖园区学府路1号5栋
- 专利权人： 广东省智能机器人研究院
- 当前专利权人： 广东省智能机器人研究院
- 当前专利权人地址： 广东省东莞市松山湖园区学府路1号5栋
- 代理机构： 东莞卓为知识产权代理事务所
- 代理人： 汤冠萍
- 主分类号： C30B25/00
- IPC分类号： C30B25/00 ; B01D46/00 ; B01D53/00 ; B01D53/04
摘要：
本发明公开了一种全自动MOCVD设备，包括机架、物料转移装置、反应装置以及尾气处理装置，物料转移装置和反应装置均安装于机架的顶面上，尾气处理装置安装于机架的顶面下，物料转移装置用于将物料放入反应装置中或者将物料从反应装置中取出，尾气处理装置位于反应装置的下方并与反应装置相连通以对生产过程中产生的尾气进行收集处理。本发明通过以上结构实现了对MOCVD设备生产过程的全自动，有效地提高了自动化程度，提高了工作效率。
公开/授权文献:
- CN114645322B 一种全自动MOCVD设备 公开/授权日：2023-06-13