基本信息:
- 专利标题： 具有氮化钼层体系的基底和用于制造层体系的涂覆方法
- 申请号：CN202080077101.2 申请日：2020-09-17
- 公开(公告)号：CN114641588A 公开(公告)日：2022-06-17
- 发明人： J·维特尔 , J·贝克尔 , J·卡尔纳
- 申请人： 欧瑞康表面解决方案股份公司 , 普费菲孔
- 申请人地址： 瑞士普费菲孔
- 专利权人： 欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔
- 当前专利权人： 欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔
- 当前专利权人地址： 瑞士普费菲孔
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理人： 章敏; 初明明
- 优先权： 19198389.9 20190919 EP
- 国际申请： PCT/EP2020/075978 2020.09.17
- 国际公布： WO2021/053072 DE 2021.03.25
- 进入国家日期： 2022-05-05
- 主分类号： C23C14/02
- IPC分类号： C23C14/02 ; C23C28/04 ; C23C28/00 ; C23C30/00 ; C23C14/06 ; C23C14/32
摘要：
因此，本发明涉及具有被设计为表面涂层的多层的层体系(2)的基底(1)，所述层体系具有包含无定形碳的外覆盖层(3)。根据本发明，在基底(1)和覆盖层(3)之间提供至少一个第一MoaNx支撑层(4)，所述支撑层(4)具有参考Mo含量a计在25原子％≤x≤55原子％的范围内的氮含量x，其中x+a＝100原子％。此外，本发明涉及用于制造基底(1)的涂覆方法。