基本信息:
- 专利标题： 一种多晶硅的还原尾气回收方法及其回收装置
- 申请号：CN202011471354.6 申请日：2020-12-14
- 公开(公告)号：CN114620731B 公开(公告)日：2024-02-23
- 发明人： 武珠峰 , 刘兴平 , 何隆 , 范协诚 , 宋高杰 , 银波
- 申请人： 新疆新特晶体硅高科技有限公司
- 申请人地址： 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市甘泉堡经济技术开发区(工业区)众欣街2249号研发楼七层
- 专利权人： 新疆新特晶体硅高科技有限公司
- 当前专利权人： 新疆新特晶体硅高科技有限公司
- 当前专利权人地址： 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市甘泉堡经济技术开发区(工业区)众欣街2249号研发楼七层
- 代理机构： 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理人： 罗建民; 邓伯英
- 主分类号： C01B33/107
- IPC分类号： C01B33/107 ; C01B7/07 ; C01B3/56
摘要：
本发明公开了一种多晶硅的还原尾气的回收方法，包括以下步骤：S1，对还原尾气进行冷却，得到第一气体；S2，在第一催化剂和活性反应气体的作用下，第一气体中的过量的二氯二氢硅与氯化氢反应生成三氯氢硅，得到第二气体；S3，在第二催化剂的作用下，氯气与第二气体中的二氯二氢硅反应生成三氯氢硅，且氯气与第二气体中的硼烷、磷烷分别反应生成高价硼、磷氯化物及单质，得到第三气体；S4，对第三气体进行冷却，得到第四气体。本发明还公开了一种用于实现上述多晶硅的还原尾气回收方法的多晶硅的还原尾气回收装置。本发明的多晶硅的还原尾气回收方法降低了还原尾气的分离难度，反应条件更加温和，能耗大幅降低，且能够提高氢气的纯度。
公开/授权文献:
- CN114620731A 一种多晶硅的还原尾气回收方法及其回收装置 公开/授权日：2022-06-14