基本信息:
- 专利标题： 太鼓晶圆去环方法及太鼓晶圆去环装置
- 申请号：CN202210206280.6 申请日：2022-03-01
- 公开(公告)号：CN114582780B 公开(公告)日：2022-12-23
- 发明人： 高阳 , 葛凡 , 周鑫 , 张宁宁 , 蔡国庆
- 申请人： 江苏京创先进电子科技有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市常熟市经济技术开发区海城路2号9幢
- 专利权人： 江苏京创先进电子科技有限公司
- 当前专利权人： 江苏京创先进电子科技有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市常熟市经济技术开发区海城路2号9幢
- 代理机构： 南京艾普利德知识产权代理事务所
- 代理人： 顾祥安
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; H01L21/687 ; H01L21/67 ; H01L21/304 ; B28D5/00
摘要：
本发明揭示了太鼓晶圆去环方法及太鼓晶圆去环装置，其中太鼓晶圆去环方法中，在夹头向太鼓环进给时，实时检测所述去环机械手的每个夹头伸入到太鼓环下方的伸入量；将实时检测的每个夹头的伸入量与设定阈值进行比较；根据比较结果来控制驱动每个夹头向太鼓环方向进给的进给驱动机构以使每个夹头移动至目标位置。本方法在太鼓环与去环机械手不处于同心状态下，仍能够灵活地进行每个夹头实际移动位置的控制，避免去环机械手与太鼓环的位置偏差造成太鼓环与夹头硬接触破碎的问题，保证了取环的稳定性，避免了太鼓环破碎造成的停机及人工处理的时间浪费，有利于提高整机的效率，且可以省去对中结构及对中过程，能够简化结构，简化工艺。
公开/授权文献:
- CN114582780A 太鼓晶圆去环方法及太鼓晶圆去环装置 公开/授权日：2022-06-03