基本信息:
- 专利标题： 一种三维微观可视化玻璃刻蚀模型及其制备方法
- 申请号：CN202210226097.2 申请日：2022-03-08
- 公开(公告)号：CN114573241A 公开(公告)日：2022-06-03
- 发明人： 朱珊珊 , 唐瑜 , 施雷庭 , 叶仲斌 , 谭书衡 , 李尧 , 易龙
- 申请人： 西南石油大学
- 申请人地址： 四川省成都市新都区新都大道8号西南石油大学
- 专利权人： 西南石油大学
- 当前专利权人： 西南石油大学
- 当前专利权人地址： 四川省成都市新都区新都大道8号西南石油大学
- 代理机构： 成都知棋知识产权代理事务所
- 代理人： 马超前
- 主分类号： C03C15/00
- IPC分类号： C03C15/00 ; G03F7/00
摘要：
本发明提供一种三维微观可视化玻璃刻蚀模型及其制备方法，该方法包括：孔隙网络结构设计、玻璃片准备、涂抹保护层、光刻掩膜版成像：采用干法刻蚀，将孔隙网络结构通过光刻掩膜版成像刻蚀在所述保护胶上，再用显影液使保护胶上的孔隙网络结构图形得以显现；蚀刻所述孔隙网络结构的孔隙图形，然后进一步蚀刻载片玻璃，使得所述孔隙网络结构的孔隙加深至所需深度，形成孔隙网络结构刻蚀模型；将载片玻璃有孔隙网络结构的一面与盖片玻璃键合在一起，形成可视化玻璃刻蚀模型。本发明制作方法操作简单，成本低，成功率高。
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C03 | 玻璃；矿棉或渣棉 |
| ----C03C | 玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合 |
| ------C03C15/00 | 纤维和丝之外的蚀刻法玻璃表面处理 |