基本信息:
- 专利标题： 一种光刻胶中鎓盐类光致产酸剂的鉴定方法
- 申请号：CN202111647566.X 申请日：2021-12-29
- 公开(公告)号：CN114414711B 公开(公告)日：2023-10-13
- 发明人： 高剑琴 , 胡小娜 , 李秋荣 , 纪爱亮 , 鲁代仁 , 董栋 , 张宁
- 申请人： 北京彤程创展科技有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
- 申请人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十四街20号院10号楼1至4层3; ;
- 专利权人： 北京彤程创展科技有限公司,上海彤程电子材料有限公司,彤程新材料集团股份有限公司
- 当前专利权人： 北京彤程创展科技有限公司,上海彤程电子材料有限公司,彤程新材料集团股份有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十四街20号院10号楼1至4层3; ;
- 代理机构： 北京维正专利代理有限公司
- 代理人： 李爱民; 相黎超
- 主分类号： G01N30/06
- IPC分类号： G01N30/06 ; G01N30/88
摘要：
本申请涉及光刻胶分析技术领域，具体涉及一种光刻胶中鎓盐类光致产酸剂的鉴定方法，包括以下步骤：S1、光刻胶的预处理：向待测光刻胶样品中加入提取液，直至光刻胶样品中有沉淀物析出，去除沉淀物，得到待测清液；S2、待测清液的GC‑MS分析检测：待测清液采用气相色谱质谱联用仪进行检测，得到GC‑MS总离子流色谱图；S3、鎓盐类光致产酸剂的鉴定：在GC‑MS总离子流色谱图中分别提取m/z=186、262、431、281、393的特征离子碎片峰；通过比对提取离子色谱图中各组分的保留时间和质谱图，鉴别鎓盐类光致产酸剂。本申请采用GC‑MS方法对鎓盐光致产酸剂进行鉴定，满足微量分析，鉴定精准、判断快速。
公开/授权文献:
- CN114414711A 一种光刻胶中鎓盐类光致产酸剂的鉴定方法 公开/授权日：2022-04-29
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N30/00 | 利用吸附作用、吸收作用或类似现象，或者利用离子交换，例如色谱法将材料分离成各个组分，来测试或分析材料 |
| --------G01N30/02 | .柱色谱法 |
| ----------G01N30/04 | ..待分析样品的制备或注入 |
| ------------G01N30/06 | ...制备 |