基本信息:
- 专利标题： 一种光刻胶除泡装置及其使用方法
- 申请号：CN202111608174.2 申请日：2021-12-27
- 公开(公告)号：CN114344954A 公开(公告)日：2022-04-15
- 发明人： 刘颂军 , 孙炜 , 冯亚楠 , 吕国文 , 贾成林 , 郭双环 , 孔星
- 申请人： 沧州信联化工有限公司
- 申请人地址： 河北省沧州市沧州临港经济技术开发区张仲景路5号
- 专利权人： 沧州信联化工有限公司
- 当前专利权人： 沧州信联化工有限公司
- 当前专利权人地址： 河北省沧州市沧州临港经济技术开发区张仲景路5号
- 代理机构： 深圳市广诺专利代理事务所
- 代理人： 刘飞
- 主分类号： B01D19/00
- IPC分类号： B01D19/00
摘要：
本发明公开了一种光刻胶除泡装置及其使用方法，包括除泡罐，所述除泡罐包括焊接于内壁的顶座和设置于顶座下方的破泡组件，所述破泡组件包括连杆、座块和焊接在座块底壁的破泡板，所述连杆通过铰链与顶座转动连接，所述顶座的底壁设置有气缸，所述破泡板通过铰链与连杆转动连接，所述连杆的侧壁安装有按板，具体涉及光刻胶除泡技术领域。该光刻胶除泡装置及其使用方法，通过设置有AI摄像头和破泡组件，在进行光刻胶的除泡工作中，通过AI摄像头定时的拍摄和监测光刻胶液面，然后通过控制单元内部的PLC程序控制破泡板击打光刻胶液面，即可实现光刻胶液面的自动除泡作业，解决了人力监测导致成本上升的问题。