基本信息:
- 专利标题： 基板处理装置
- 申请号：CN202210005576.1 申请日：2017-08-07
- 公开(公告)号：CN114229474A 公开(公告)日：2022-03-25
- 发明人： 鬼头义昭 , 加藤正纪 , 奈良圭 , 堀正和 , 木内徹
- 申请人： 株式会社尼康
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 株式会社尼康
- 当前专利权人： 株式会社尼康
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理人： 孙乳笋; 董骁毅
- 优先权： 2016-155810 20160808 JP
- 主分类号： B65G49/06
- IPC分类号： B65G49/06 ; B65H20/02 ; B65H23/188 ; B65H26/00 ; G03F7/20 ; G03F7/24 ; H01L21/67 ; H01L21/677 ; H01L21/683
摘要：
一种将长条的片状基板于长条方向上搬送并对片状基板实施既定的处理的基板处理装置，且设置有：处理机构，其对片状基板的长条方向的每一部分实施既定的处理；搬送机构，其一面对通过处理机构的片状基板赋予既定的张力，一面将片状基板按照既定速度于长条方向上搬送；卡留机构，其配置于片状基板的搬送路径中的既定位置，且能够将片状基板卡留于既定位置；以及控制装置，其于暂时停止片状基板的搬送的情形时，以使片状基板的搬送速度降低的方式控制搬送机构，并且以于搬送速度成为既定值以下的时点将片状基板卡留于既定位置的方式控制卡留机构。
公开/授权文献:
- CN114229474B 基板处理装置 公开/授权日：2023-05-05
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B65 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 |
| ----B65G | 运输或贮存装置，例如装载或倾斜用输送机；车间输送机系统；气动管道输送机 |
| ------B65G49/00 | 其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统 |
| --------B65G49/02 | .用于输送通过液浴的工件 |
| ----------B65G49/06 | ..用于易碎薄板，如玻璃 |