基本信息:
- 专利标题： 一种MEMS高g值三轴加速度计
- 申请号：CN202111531486.8 申请日：2021-12-14
- 公开(公告)号：CN114217094B 公开(公告)日：2023-07-25
- 发明人： 郭小辉 , 邵爽 , 金程超 , 柳天琪 , 王思亮 , 曾玮 , 杨利霞 , 许耀华 , 黄志祥
- 申请人： 安徽大学
- 申请人地址： 安徽省合肥市经开区九龙路111号
- 专利权人： 安徽大学
- 当前专利权人： 安徽大学
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市经开区九龙路111号
- 代理机构： 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司
- 代理人： 卢敏
- 主分类号： G01P15/12
- IPC分类号： G01P15/12
摘要：
本发明公开了一种MEMS高g值三轴加速度计，其包括：外部矩形框架，设在外部矩形框架中心的质量块，设在外部矩形框架和质量块之间的回形梁；回形梁与质量块之间通过中间支撑梁连接；外部矩形框架、回形梁及质量块在四角位置通过对角支撑梁连接；在外部矩形框架和回形梁之间连接有敏感微梁，在敏感微梁上设置有压敏电阻。本发明的三轴加速度计结构中心对称，轴间耦合度低，在不牺牲固有频率的同时实现了较高的灵敏度，且其制作工艺简单。
公开/授权文献:
- CN114217094A 一种新型MEMS高g值三轴加速度计 公开/授权日：2022-03-22
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01P | 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在、不存在或方向的指示 |
| ------G01P15/00 | 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 |
| --------G01P15/02 | .利用惯性力 |
| ----------G01P15/04 | ..用于指示最大值 |
| ------------G01P15/12 | ...应用电阻值的改变 |