基本信息:
- 专利标题： 一种含稀土金属的铜镍合金靶材、其制备方法及应用
- 申请号：CN202111515731.6 申请日：2021-12-13
- 公开(公告)号：CN114196925A 公开(公告)日：2022-03-18
- 发明人： 谢迎春 , 马文花 , 孙文 , 赵仕杰 , 邓畅光 , 殷硕 , 黄仁忠
- 申请人： 广东省科学院新材料研究所 , 广东省科学院工业分析检测中心
- 申请人地址： 广东省广州市天河区长兴路363号;
- 专利权人： 广东省科学院新材料研究所,广东省科学院工业分析检测中心
- 当前专利权人： 广东省科学院新材料研究所,广东省科学院工业分析检测中心
- 当前专利权人地址： 广东省广州市天河区长兴路363号;
- 代理机构： 北京超凡宏宇专利代理事务所
- 代理人： 宋南
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34 ; C22C9/06 ; B22F10/50 ; B22F10/10 ; B33Y10/00 ; B33Y70/00 ; B33Y80/00 ; B23K20/12
摘要：
本发明公开了一种含稀土金属的铜镍合金靶材、其制备方法及应用，涉及合金靶材技术领域。该制备方法包括：包括：采用逐层沉积的方式，每层沉积的过程中均包括同时进行的固态金属沉积和搅拌摩擦焊；其中，固态金属沉积是将合金粉末沉积于背板或上一层沉积体上，搅拌摩擦焊是在固态金属沉积得到的沉积体上进行搅拌；其中，按重量百分比计，合金粉末包括以下组分：RE 0.002‑0.05％、Ni 3‑10％，余量为Cu及不可避免的杂质。能够有效提高材料的利用率；材料不发生氧化、分解，可使靶材完整保留原材料组分；靶材致密、晶粒小、组织均匀、气体含量低、焊接处界面的结合率高，能够显著提高靶材的性能。