基本信息:
- 专利标题： 一种电子显微镜
- 申请号：CN202010954075.9 申请日：2020-09-11
- 公开(公告)号：CN114171361B 公开(公告)日：2024-09-06
- 发明人： 何伟 , 李帅
- 申请人： 聚束科技（北京）有限公司
- 申请人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区永昌北路3号3幢8101-A单元
- 专利权人： 聚束科技（北京）有限公司
- 当前专利权人： 聚束科技（北京）有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区永昌北路3号3幢8101-A单元
- 代理机构： 北京派特恩知识产权代理有限公司
- 代理人： 胡亮; 张颖玲
- 主分类号： H01J37/26
- IPC分类号： H01J37/26 ; H01J37/28
摘要：
本发明公开了一种电子显微镜，包括：电子源，用于产生电子束；物镜，用于聚焦所述电子束；调节极靴，可移动的设置在所述物镜与待测样品之间；第一驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述调节极靴在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述物镜的极靴方向朝向所述待测样品，所述第二位置为所述物镜的极靴方向朝向所述电子束的光轴。本发明提供的一种电子显微镜，实现电子显微镜在浸没式电子显微镜和非浸没式电子显微镜的切换，可以观察非磁性待测样品，也可以观察磁性待测样品，并且均能够获得高质量的图像。
公开/授权文献:
- CN114171361A 一种电子显微镜 公开/授权日：2022-03-11
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01J | 放电管或放电灯 |
| ------H01J37/00 | 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,如为了对其检验或加工的 |
| --------H01J37/26 | .电子或离子显微镜；电子或离子衍射管 |