基本信息:
- 专利标题： 一种划片机清洗台
- 申请号：CN202111381170.5 申请日：2021-11-20
- 公开(公告)号：CN114087314B 公开(公告)日：2022-07-26
- 发明人： 胡章坤 , 王强 , 于光明
- 申请人： 江苏京创先进电子科技有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市常熟市常熟经济技术开发区海城路2号9幢
- 专利权人： 江苏京创先进电子科技有限公司
- 当前专利权人： 江苏京创先进电子科技有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市常熟市常熟经济技术开发区海城路2号9幢
- 代理机构： 北京维正专利代理有限公司
- 代理人： 王文彬
- 主分类号： F16F15/04
- IPC分类号： F16F15/04 ; H01L21/02 ; H01L21/304
摘要：
本申请涉及芯片加工设备技术领域，尤其是涉及一种划片机清洗台，其包括内盘底板和底盘，所述内盘底板底部连有气缸，所述气缸的缸筒与所述底盘连接，所述内盘底板外侧设有圆环，所述圆环的厚度大于所述内盘底板的厚度，所述圆环上开设有导向孔，所述导向孔内穿设有导向杆且所述导向杆套设有直线轴承。本申请具有提升内盘底板上下运动时的稳定性的效果。
公开/授权文献:
- CN114087314A 一种划片机清洗台 公开/授权日：2022-02-25