基本信息:
- 专利标题： 一种抗反射涂层组合物及可交联聚合物
- 申请号：CN202111241133.4 申请日：2021-10-25
- 公开(公告)号：CN113913075B 公开(公告)日：2022-09-20
- 发明人： 张爱强 , 陈仁治 , 马克·奈舍 , 江一敏 , 陈渊
- 申请人： 嘉庚创新实验室
- 申请人地址： 福建省厦门市思明区思明南路422号亦玄馆410室
- 专利权人： 嘉庚创新实验室
- 当前专利权人： 闽晨星电子材料(厦门)有限公司
- 当前专利权人地址： 361000 福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区翔明路32号582-42
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理人： 赵青朵
- 主分类号： C09D133/12
- IPC分类号： C09D133/12 ; C09D133/24 ; C09D133/14 ; C09D133/10 ; C08F220/14 ; C08F220/58 ; C08F220/20 ; C08F220/18 ; C08F120/32 ; H01L21/027
摘要：
本发明提供了一种抗反射涂层组合物，包括有机聚合物；所述有机聚合物包括可交联聚合物；所述可交联聚合物包括式(I)所示单体形成的单体单元；其中，R1选自取代或未取代的C2～C10的烯基；R2与R3各自独立地选自H、取代或未取代的C1～C6的烷基、取代或未取代的C6～C20的芳基。与现有技术相比，本发明提供的可交联聚合物包含能够与羟基、氨基和巯基等官能团进行自交联的单体单元，从而在涂层中无需加入交联剂，能够有效地解决或避免组合物在烘烤过程中产生气体，减少不必要的清洁程序同时降低气体凝结而成的固体掉落造成图案被破坏的风险，能够简化相应的工艺流程，节约成本。
公开/授权文献:
- CN113913075A 一种抗反射涂层组合物及可交联聚合物 公开/授权日：2022-01-11