![一种硅基传感器微流控芯片和其制备及封装方法](/CN/2021/1/243/images/202111217823.jpg)
基本信息:
- 专利标题: 一种硅基传感器微流控芯片和其制备及封装方法
- 申请号:CN202111217823.6 申请日:2021-10-19
- 公开(公告)号:CN113751092A 公开(公告)日:2021-12-07
- 发明人: 谢新武 , 马金标 , 王浩 , 杜耀华 , 程智 , 吴金辉 , 吴建国 , 韩俊淑
- 申请人: 军事科学院系统工程研究院卫勤保障技术研究所
- 申请人地址: 天津市河东区万东路106号
- 专利权人: 军事科学院系统工程研究院卫勤保障技术研究所
- 当前专利权人: 军事科学院系统工程研究院卫勤保障技术研究所
- 当前专利权人地址: 天津市河东区万东路106号
- 代理机构: 北京丰浩知识产权代理事务所
- 代理人: 董亚男
- 主分类号: B01L3/00
- IPC分类号: B01L3/00
摘要:
本发明涉及传感器与微流控芯片领域,具体讲,涉及一种硅基传感器微流控芯片和其制备及封装方法。硅基传感器微流控芯片从上至下依次包括微流控芯片和硅基传感器;微流控芯片设置有加样孔、流道和出样孔,加样孔、流道和出样孔构成用于待测液体样本流动的通路,通路上设置有开口,敏感元件位于开口内,用于对待测液体样本进行检测;微流控芯片的下表面上设置有功能凹槽,功能凹槽用于将开口和硅基传感器晶片封装在一起。本发明的硅基传感器微流控芯片实现了硅基传感器与微流控芯片的封装,进而实现将液体样本稳定有效传递到传感器晶片实现检测功能。
公开/授权文献:
- CN113751092B 一种硅基传感器微流控芯片和其制备及封装方法 公开/授权日:2023-02-28
IPC结构图谱:
B | 作业;运输 |
--B01 | 一般的物理或化学的方法或装置 |
----B01L | 通用化学或物理实验室设备 |
------B01L3/00 | 实验室用的容器或器皿,如实验室玻璃仪器(瓶子入B65D;酶或微生物学用的设备入C12M1/00);点滴器 |