基本信息:
- 专利标题： 基于磁约束提升热丝CVD沉积金刚石涂层效率的方法
- 申请号：CN202111010792.7 申请日：2021-08-31
- 公开(公告)号：CN113737153A 公开(公告)日：2021-12-03
- 发明人： 王弢 , 杨路 , 汪亮 , 孙刘杨
- 申请人： 嘉兴沃尔德金刚石工具有限公司
- 申请人地址： 浙江省嘉兴市秀洲区高照街道八字路1136号
- 专利权人： 嘉兴沃尔德金刚石工具有限公司
- 当前专利权人： 嘉兴沃尔德金刚石工具有限公司
- 当前专利权人地址： 浙江省嘉兴市秀洲区高照街道八字路1136号
- 代理机构： 重庆中之信知识产权代理事务所
- 代理人： 郑雪红
- 主分类号： C23C16/27
- IPC分类号： C23C16/27
摘要：
本发明属于金刚石涂层制备技术领域，具体公开了基于磁约束提升热丝CVD沉积金刚石涂层效率的方法，改进型的热丝CVD设备包括依次连接的气源、涂层腔室和真空泵，涂层腔室内设有基台和热丝电极组件，在涂层腔室内设置有磁增强组件，磁增强组件包括磁增强电极以及磁控电源，磁增强电极之间连接有螺旋形热丝；在离解阶段：控制磁控电源向磁增强电极通入0.3～0.5A的交变电流；在沉积阶段：控制磁控电源向磁增强电极通入3～5A的交变电流；在降温阶段：控制磁控电源向磁增强电极通入1～3A的交变电流。采用本发明的方案，带电粒子团在磁场作用下做螺旋运动，延长了粒子的滞留时间，提高了和待涂层刀具的有效碰撞几率，进而提升沉积速率。
公开/授权文献:
- CN113737153B 基于磁约束提升热丝CVD沉积金刚石涂层效率的方法 公开/授权日：2024-06-11