基本信息:
- 专利标题： 弹性波装置及复合滤波器装置
- 申请号：CN202110374862.0 申请日：2021-04-07
- 公开(公告)号：CN113541639B 公开(公告)日：2024-07-16
- 发明人： 中泽秀太郎 , 岩本英树 , 大门克也
- 申请人： 株式会社村田制作所
- 申请人地址： 日本京都府
- 专利权人： 株式会社村田制作所
- 当前专利权人： 株式会社村田制作所
- 当前专利权人地址： 日本京都府
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理人： 李国华
- 主分类号： H03H9/64
- IPC分类号： H03H9/64 ; H03H9/05
摘要：
提供一种弹性波装置及复合滤波器装置，能够充分地抑制谐振频率的2.2倍的频率下的高阶模式。本发明的弹性波装置(1)具备面取向为(111)的硅基板(2)、氮化硅层(3)、氧化硅层(4)、钽酸锂层(5)、以及设置在钽酸锂层(5)上的IDT电极(6)。在将由IDT电极(6)的电极指间距规定的波长设为λ时，氮化硅层(3)的厚度SiN[λ]、氧化硅层(4)的厚度SiO2[λ]、钽酸锂层(5)的厚度LT[λ]及钽酸锂层(5)的欧拉角中的LTθ[deg.]为通过式1导出的第一高阶模式的相位成为‑20[deg.]以下的范围内的厚度及角度。
公开/授权文献:
- CN113541639A 弹性波装置及复合滤波器装置 公开/授权日：2021-10-22