基本信息:
- 专利标题： 用于聚苯乙烯-b-聚(甲基丙烯酸甲酯)二嵌段共聚物的接触孔自组装的快速可交联中性底层及其配制剂
- 申请号：CN201980080346.8 申请日：2019-12-04
- 公开(公告)号：CN113490696B 公开(公告)日：2022-12-23
- 发明人： D·巴斯卡兰 , M·S·拉赫曼 , V·蒙雷亚尔
- 申请人： 默克专利股份有限公司
- 申请人地址： 德国达姆施塔特
- 专利权人： 默克专利股份有限公司
- 当前专利权人： 默克专利股份有限公司
- 当前专利权人地址： 德国达姆施塔特
- 代理机构： 中国贸促会专利商标事务所有限公司
- 代理人： 姜煌
- 优先权： 62/776,802 20181207 US
- 国际申请： PCT/EP2019/083589 2019.12.04
- 国际公布： WO2020/115090 EN 2020.06.11
- 进入国家日期： 2021-06-04
- 主分类号： C08F220/14
- IPC分类号： C08F220/14 ; C09D133/12
摘要：
本发明涉及一种包含结构(I)、(II)、(III)、及(IV)的重复单元的无规共聚物。本发明还涉及一种由所述无规共聚物构成的中性层组合物且还涉及使所述中性层组合物在基板上制得交联中性层膜的用途，其可使得能够自组装上覆于所述交联中性层的嵌段共聚物的膜，其中所述嵌段共聚物含有抗蚀刻及可蚀刻嵌段，且经由蚀刻使用所述嵌段共聚物的自组装图案以在所述基板中产生接触孔或柱阵列。
公开/授权文献:
- CN113490696A 用于聚苯乙烯-b-聚(甲基丙烯酸甲酯)二嵌段共聚物的接触孔自组装的快速可交联中性底层及其配制剂 公开/授权日：2021-10-08
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C08 | 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物 |
| ----C08F | 仅用碳—碳不饱和键反应得到的高分子化合物 |
| ------C08F220/00 | 具有1个或更多不饱和脂族基化合物的共聚物，每个不饱和脂族基只有1个碳—碳双键，并且只有1个是仅以羧基或它的盐、酐、酯、酰胺、酰亚胺或腈为终端 |
| --------C08F220/02 | .具有少于10个碳原子的一元羧酸；它的衍生物 |
| ----------C08F220/10 | ..酯 |
| ------------C08F220/12 | ...一元醇或酚的 |
| --------------C08F220/14 | ....甲酯 |