基本信息:
- 专利标题： 一种旋转靶材的制备方法
- 申请号：CN202110646193.8 申请日：2021-06-09
- 公开(公告)号：CN113463043A 公开(公告)日：2021-10-01
- 发明人： 沈文兴 , 白平平 , 童培云
- 申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
- 申请人地址： 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
- 专利权人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
- 当前专利权人： 先导薄膜材料(江苏)有限公司
- 当前专利权人地址： 221000 江苏省徐州市徐州高新技术产业开发区同创路西、五环路北
- 代理机构： 广州三环专利商标代理有限公司
- 代理人： 颜希文
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34 ; C23C14/35 ; B22D19/00 ; B22D27/04 ; B22D27/00
摘要：
本发明公开一种旋转靶材的制备方法，涉及靶材制备领域。本发明所述一种旋转靶材的制备方法，包括如下步骤：(1)将背管放入涂有脱模剂的模具中，密封后将模具放入到炉膛中，排除空气后对炉膛进行加热保温；(2)将金属锭子加热熔化后，沿着模具上的浇注口管道注入到模具中，保温一段时间后，关闭加热电源，冷却至金属熔点以下20‑30℃，依次自下而上冷却，直至完全冷却至室温；(3)打开模具，将靶材取出后进行加工，得到所述旋转靶材。
公开/授权文献:
- CN113463043B 一种旋转靶材的制备方法 公开/授权日：2023-05-26