基本信息:
- 专利标题： 一种晶棒防坠落装置及单晶炉
- 申请号：CN202110627854.2 申请日：2021-06-05
- 公开(公告)号：CN113337882A 公开(公告)日：2021-09-03
- 发明人： 陈辉 , 黄鸣 , 常晓鱼
- 申请人： 北京北方华创真空技术有限公司
- 申请人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号1幢401室
- 专利权人： 北京北方华创真空技术有限公司
- 当前专利权人： 北京北方华创真空技术有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号1幢401室
- 代理机构： 北京维正专利代理有限公司
- 代理人： 张岭; 赵保迪
- 主分类号： C30B15/00
- IPC分类号： C30B15/00 ; C30B29/06
摘要：
本申请涉及单晶硅生产的领域，尤其是涉及一种晶棒防坠落装置及单晶炉，其包括至少两个安装机构和至少两个感应晶棒坠落且阻挡晶棒坠落的自锁机构，所述的自锁机构与安装机构相连接，所述的自锁机构包括感应晶棒坠落的感应组件和夹紧坠落晶棒的夹紧组件，所述的感应组件与夹紧组件活动连接。本申请具有感应组件感应晶棒坠落，夹紧组件对坠落的晶棒夹紧，夹紧组件对晶棒形成自锁，防止晶棒继续坠落，减少了晶棒坠落导致单晶炉损坏和造成人身事故的情况，也使晶棒能够保持完整，减少经济损失的效果。