基本信息:
- 专利标题： 一种高精度弱流电子束调束装置及方法
- 申请号：CN202110171278.5 申请日：2021-02-02
- 公开(公告)号：CN113257651A 公开(公告)日：2021-08-13
- 发明人： 李小飞 , 胡浩亮 , 周峰 , 黄俊昌 , 潘瑞 , 余也凤 , 万鹏 , 聂琪
- 申请人： 中国电力科学研究院有限公司
- 申请人地址： 北京市海淀区清河小营东路15号
- 专利权人： 中国电力科学研究院有限公司
- 当前专利权人： 中国电力科学研究院有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区清河小营东路15号
- 代理机构： 北京工信联合知识产权代理有限公司
- 代理人： 姜丽楼
- 主分类号： H01J37/21
- IPC分类号： H01J37/21 ; H01J37/147
摘要：
本发明公开了一种高精度弱流电子束调束装置及方法，属于电学计量量子化技术领域。本发明系统包括：磁场调控单元，设定电子源通电电流的大小，并根据电子源通电电流的大小，确定纵向磁场分布，通过调节电子源的通电电流改变纵向磁场分布，获取散聚焦调控电子束流；刮束单元，针对散聚焦调控电子束流，进行刮束，获取目标电子光束；观测单元，通过荧光屏捕获目标电子束流的束斑图像，获取束斑图像信息，根据束斑图像信息，确定目标电子束流品质，根据目标电子束流品质对电流量子化。本发明引入粒子加速器技术，突破传统基于单电子隧道效应的电流量子化方式的限制，使得电流流强有极大提高，同时也改进了电子源输出电子束流的稳定性。
公开/授权文献:
- CN113257651B 一种高精度弱流电子束调束装置及方法 公开/授权日：2023-12-01