基本信息:
- 专利标题： 烧结体
- 申请号：CN201980085191.7 申请日：2019-12-26
- 公开(公告)号：CN113195434B 公开(公告)日：2023-08-08
- 发明人： 川岛绘美 , 井上一吉 , 大山正嗣 , 柴田雅敏
- 申请人： 出光兴产株式会社
- 申请人地址： 日本国东京都
- 专利权人： 出光兴产株式会社
- 当前专利权人： 出光兴产株式会社
- 当前专利权人地址： 日本国东京都
- 代理机构： 上海立群专利代理事务所
- 代理人： 陈亦欧; 毛立群
- 国际申请： PCT/JP2019/051199 2019.12.26
- 国际公布： WO2020/138319 JA 2020.07.02
- 进入国家日期： 2021-06-21
- 主分类号： C04B35/01
- IPC分类号： C04B35/01 ; C23C14/34 ; H01L21/363
摘要：
本发明涉及一种烧结体，是含有In元素、Ga元素以及Ln元素的烧结体，包含：由In2O3表示的方铁锰矿结构的第1氧化物；含有In元素、Ga元素以及Ln元素的石榴石结构的第2氧化物；和满足由下述(1)、(2)以及(3)表示的原子组成比的范围的第3氧化物，Ln元素是选自La、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb以及Lu构成的组中的一种以上的元素。0.3≤In/(In+Ga+Ln)≤0.7…(1)0.3≤Ga/(In+Ga+Ln)≤0.7…(2)0≤Ln/(In+Ga+Ln)＜0.05…(3)。
公开/授权文献:
- CN113195434A 烧结体 公开/授权日：2021-07-30