基本信息:
- 专利标题： 抛光组合物及其使用方法
- 申请号：CN202080004088.8 申请日：2020-10-06
- 公开(公告)号：CN113039039B 公开(公告)日：2024-07-26
- 发明人： 梁燕南 , 胡斌 , 温立清 , 张书维
- 申请人： 富士胶片电子材料美国有限公司
- 申请人地址： 美国罗得岛州
- 专利权人： 富士胶片电子材料美国有限公司
- 当前专利权人： 富士胶片电子材料美国有限公司
- 当前专利权人地址： 美国罗得岛州
- 代理机构： 北京博思佳知识产权代理有限公司
- 代理人： 艾佳
- 国际申请： PCT/US2020/054371 2020.10.06
- 国际公布： WO2021/076352 US 2021.04.22
- 进入国家日期： 2021-01-21
- 主分类号： B24B1/00
- IPC分类号： B24B1/00 ; C09G1/02 ; H01L21/02
摘要：
本发明提供一种抛光组合物，其包括磨料；可选的pH调节剂；阻挡膜移除速率增强剂；TEOS移除速率抑制剂；钴移除速率增强剂；含唑腐蚀抑制剂；及钴腐蚀抑制剂。
公开/授权文献:
- CN113039039A 抛光组合物及其使用方法 公开/授权日：2021-06-25
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B24 | 磨削；抛光 |
| ----B24B | 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 |
| ------B24B1/00 | 磨削或抛光的工艺；与此工艺有关的所用辅助设备 |