基本信息:
- 专利标题： 具有防止氦孔洞点火/发弧的特征的高功率静电卡盘
- 申请号：CN201980072982.6 申请日：2019-10-29
- 公开(公告)号：CN112970091A 公开(公告)日：2021-06-15
- 发明人： 亚历山大·马丘什金 , 基思·科门丹特 , 达雷尔·埃利希 , 埃里克·萨穆隆
- 申请人： 朗姆研究公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海胜康律师事务所
- 代理人： 李献忠; 张华
- 优先权： 62/754,308 20181101 US
- 国际申请： PCT/US2019/058626 2019.10.29
- 国际公布： WO2020/092412 EN 2020.05.07
- 进入国家日期： 2021-05-06
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32 ; H01L21/683 ; H01L21/67
摘要：
提供一种用于氦管线的火花抑制装置，该氦管线在等离子体处理室内的静电卡盘中。该火花抑制装置包含在氦管线中的电介质多腔插塞，其中电介质多腔插塞具有多个腔，其中多个腔的数量介于30到100,000腔之间，且多个腔具有介于1微米和200微米之间的宽度。
公开/授权文献:
- CN112970091B 具有防止氦孔洞点火/发弧的特征的高功率静电卡盘 公开/授权日：2025-01-14