基本信息:
- 专利标题： 直接键合有吸气剂材料的薄密封层的制造检测装置的方法
- 申请号：CN202011341296.5 申请日：2020-11-25
- 公开(公告)号：CN112968072B 公开(公告)日：2024-05-07
- 发明人： 塞巴斯蒂安·贝克尔 , 弗兰克·富尔内尔
- 申请人： 原子能和替代能源委员会
- 申请人地址： 法国巴黎
- 专利权人： 原子能和替代能源委员会
- 当前专利权人： 原子能和替代能源委员会
- 当前专利权人地址： 法国巴黎
- 代理机构： 北京柏杉松知识产权代理事务所
- 代理人： 谢攀; 刘继富
- 主分类号： H01L31/18
- IPC分类号： H01L31/18 ; H01L31/115 ; H01L31/0203 ; H01L23/26
摘要：
本发明涉及一种用于制造热检测器(1)的方法，包括以下步骤：形成第一堆叠件(10)，其包括热检测器(20)、矿物牺牲层(15)和具有横向进出口(17.1)的薄封装层(16)；形成第二堆叠件(30)，其包括薄密封层(33)和吸气剂部分(34)；消除矿物牺牲层(15)；通过直接键合来组装薄密封层(33)，使其与薄封装层(16)接触并堵塞横向进出口(17.1)，吸气剂部分(34)位于横向进出口(17.1)中。
公开/授权文献:
- CN112968072A 直接键合有吸气剂材料的薄密封层的制造检测装置的方法 公开/授权日：2021-06-15