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基本信息:
- 专利标题: 微型静电电动机和微型机械力传递装置
- 申请号:CN201980038570.0 申请日:2019-06-05
- 公开(公告)号:CN112867690A 公开(公告)日:2021-05-28
- 发明人: S.A.马什
- 申请人: 恩赛特有限责任公司
- 申请人地址: 美国马萨诸塞州
- 专利权人: 恩赛特有限责任公司
- 当前专利权人: 恩赛特有限责任公司
- 当前专利权人地址: 美国马萨诸塞州
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理人: 陈茜
- 优先权: 62/681,715 20180607 US 62/681,725 20180607 US 16/418,254 20190521 US 16/418,109 20190521 US
- 国际申请: PCT/US2019/035536 2019.06.05
- 国际公布: WO2019/236676 EN 2019.12.12
- 进入国家日期: 2020-12-07
- 主分类号: B81B3/00
- IPC分类号: B81B3/00 ; B81B5/00 ; B81B7/00 ; H01L23/00 ; H01L23/04 ; H02N1/00
摘要:
公开了一种微型静电电动机,其包括具有第一面和第二面并且具有腔室的主体。第一隔膜设置在主体的第一面上方,并且可旋转的盘围绕一构件设置在圆形腔室中。盘设置在圆形腔室中,并可绕所述构件自由旋转。该盘在其第一表面上具有一组三个的相互电隔离的电极,每个电极具有一个凸片部分并与该部件电隔离。第二隔膜设置在主体的第二面上方,并且一对间隔开的电极设置在第二隔膜的部分上,该一对间隔开的电极通过该对电极之间的间隙绝缘。圆柱形构件设置在腔室中,与盘上的三个相互电隔离的电极电隔离。
IPC结构图谱:
B | 作业;运输 |
--B81 | 微观结构技术 |
----B81B | 微观结构的装置或系统,例如微观机械装置 |
------B81B3/00 | 由柔性或可变形的元件组成的装置,例如由弹性舌或膜片组成 |