基本信息:
- 专利标题： 一种直拉法生产单晶中收尾阶段单晶收放趋势的判断方法
- 申请号：CN202011609839.7 申请日：2020-12-29
- 公开(公告)号：CN112831829A 公开(公告)日：2021-05-25
- 发明人： 张欢 , 连庆伟 , 李超 , 王雅楠 , 吴志强 , 崔彬 , 姜舰
- 申请人： 有研半导体材料有限公司 , 山东有研半导体材料有限公司
- 申请人地址： 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧;
- 专利权人： 有研半导体材料有限公司,山东有研半导体材料有限公司
- 当前专利权人： 有研半导体材料有限公司,山东有研半导体材料有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧;
- 代理机构： 北京北新智诚知识产权代理有限公司
- 代理人： 刘秀青
- 主分类号： C30B15/28
- IPC分类号： C30B15/28 ; C30B29/06
摘要：
本发明公开了一种直拉硅单晶收尾阶段单晶收放趋势的判断方法，包括以下步骤：(1)按照所生产单晶直径的1‑1.3倍预算出收尾长度，结合勾股定理算出收尾的两个角度为63°和69°，根据两个角度分别计算不同长度段内的重量随长度变化斜率，绘制出理论重量随长度变化曲线图；(2)通过单晶炉客户端获得收尾部分任意位置A和重量B；通过单晶炉客户端获得收尾部分位置A下的位置C和重量D；计算位置A到位置C的重量随着长度的变化斜率α＝(D‑B)/(C‑A)；(3)将理论重量随长度变化曲线图划分成提高拉速区、拉速维持区、降低拉速区，将α放入理论重量随长度变化曲线图中，实时调节拉速。采用本发明能够及时有效的判断出单晶收放趋势，正确的调节拉速，提高单晶的完好率。