![放射线检测器、放射线检测器的制造方法和装置、闪烁体面板、闪烁体面板的制造方法和装置](/CN/2019/8/11/images/201980057588.jpg)
基本信息:
- 专利标题: 放射线检测器、放射线检测器的制造方法和装置、闪烁体面板、闪烁体面板的制造方法和装置
- 申请号:CN201980057588.5 申请日:2019-08-26
- 公开(公告)号:CN112654896B 公开(公告)日:2024-09-20
- 发明人: 吉田笃也 , 堀内弘
- 申请人: 佳能电子管器件株式会社
- 申请人地址: 日本栃木县
- 专利权人: 佳能电子管器件株式会社
- 当前专利权人: 佳能电子管器件株式会社
- 当前专利权人地址: 日本栃木县
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理人: 熊风; 宋俊寅
- 国际申请: PCT/JP2019/033398 2019.08.26
- 国际公布: WO2020/050091 JP 2020.03.12
- 进入国家日期: 2021-03-03
- 主分类号: G01T1/20
- IPC分类号: G01T1/20 ; C23C14/24 ; G21K4/00
摘要:
本发明提供一种放射线检测器、放射线检测器的制造方法和装置、闪烁体面板、闪烁体面板的制造方法和装置,能提高闪烁体层与反射层或防潮层之间的附着力。放射线检测器包括:光电转换基板(11);闪烁体层,其通过真空蒸镀法形成在上述光电转换基板上,包含主材料和掺杂材料;以及反射层或防潮层,其在上述闪烁体层的表面侧沿着上述闪烁体层的表面形状而形成。上述闪烁体层具有:形成在上述光电转换基板上的上述主材料与上述掺杂材料的混合层部;以及形成在上述混合层部的表面侧的仅有上述掺杂材料的掺杂材料层部。至少上述掺杂材料层部的表面形成为凹凸形状。
公开/授权文献:
- CN112654896A 放射线检测器、放射线检测器的制造方法和装置、闪烁体面板、闪烁体面板的制造方法和装置 公开/授权日:2021-04-13