基本信息:
- 专利标题： 一种蒸镀设备
- 申请号：CN202011406444.7 申请日：2020-12-03
- 公开(公告)号：CN112538605A 公开(公告)日：2021-03-23
- 发明人： 林志斌 , 林泽
- 申请人： 福建华佳彩有限公司
- 申请人地址： 福建省莆田市涵江区涵中西路1号
- 专利权人： 福建华佳彩有限公司
- 当前专利权人： 福建华佳彩有限公司
- 当前专利权人地址： 福建省莆田市涵江区涵中西路1号
- 代理机构： 福州市博深专利事务所
- 代理人： 林振杰
- 主分类号： C23C14/24
- IPC分类号： C23C14/24 ; C23C14/56
摘要：
本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀设备，包括蒸镀腔本体和换料腔本体，换料腔本体位于蒸镀腔本体的一侧，蒸镀腔本体内腔设有机械手臂机构和三个以上的坩埚位，三个以上的坩埚备用位环绕坩埚蒸镀位设置，三个以上的坩埚备用位分别位于同一个虚拟圆的等分点上，坩埚蒸镀位位于虚拟圆的圆心位置上，在换料腔本体内腔设置旋转轨道，旋转轨道上设有两个以上的坩埚接待位，可在生产作业时同时进行换料或加料的动作，这样不仅对蒸镀腔本体内洁净度起到很好的保持作用，避免空气中的颗粒污染腔体，对产品良率有一定保障；而且还可以大大避免停机开腔换料等作业对产能造成的影响。
公开/授权文献:
- CN112538605B 一种蒸镀设备 公开/授权日：2024-05-14