基本信息:
- 专利标题： 一种有机-金属纳米复合薄膜及其制备方法和应用
- 申请号：CN202010899722.0 申请日：2020-08-31
- 公开(公告)号：CN112030108A 公开(公告)日：2020-12-04
- 发明人： 王飞鹏 , 赵琦 , 李剑 , 黄正勇 , 陈伟根 , 王有元 , 潘建宇 , 谭亚雄 , 王强 , 杜林 , 周湶
- 申请人： 重庆大学
- 申请人地址： 重庆市沙坪坝区正街174号
- 专利权人： 重庆大学
- 当前专利权人： 重庆大学
- 当前专利权人地址： 重庆市沙坪坝区正街174号
- 代理机构： 北京汇泽知识产权代理有限公司
- 代理人： 武君
- 主分类号： C23C14/14
- IPC分类号： C23C14/14 ; C23C14/34 ; C23C14/58
摘要：
本发明公开了一种有机-金属纳米复合薄膜及其制备方法和应用，属于复合材料技术领域。有机-金属纳米复合薄膜由基底层和氟碳-钛复合薄膜层组成。制备方法为：打磨聚四氟乙烯靶材和钛靶材，清洗；然后进行预溅射；利用共溅射在基底层表面沉积氟碳-钛复合薄膜；然后进行高温退火，即可。本发明的有机-金属纳米复合薄膜的制备方法，通过采用射频-直流共溅射，改变薄膜沉积状态的变化以调控纳米级表面形貌、化学组分含量；通过调整高温退火工艺以调控薄膜结晶度，使制得的复合薄膜表现出不同的浸润性能和二次电子发射特性，且具有纯度高、沉积面积大、物相结构高度可控等优点，从而使其应用广泛，具有显著的推广实用价值。
公开/授权文献:
- CN112030108B 一种有机-金属纳米复合薄膜及其制备方法和应用 公开/授权日：2023-01-24