基本信息:
- 专利标题： 一种用于金刚石生长的PLC辉光控制方法及装置
- 申请号：CN202010774602.8 申请日：2020-08-04
- 公开(公告)号：CN112011828A 公开(公告)日：2020-12-01
- 发明人： 任泽阳 , 何琦 , 张进成 , 张金风 , 梁振芳 , 苏凯 , 郝跃
- 申请人： 西安电子科技大学
- 申请人地址： 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- 专利权人： 西安电子科技大学
- 当前专利权人： 西安电子科技大学
- 当前专利权人地址： 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- 代理机构： 西安嘉思特知识产权代理事务所
- 代理人： 刘长春
- 主分类号： C30B29/04
- IPC分类号： C30B29/04 ; C30B25/16
摘要：
本发明涉及一种用于金刚石生长的PLC辉光控制方法及装置，该方法包括：获取初始辉光功率以及配方表；控制射频电源开启辉光放电，并根据配方表中生长准备阶段的标准真空压力与第一实时压力的比较结果对射频电源进行控制；控制射频电源继续进行辉光放电使目标辉光功率保持不变，同时控制目标压力保持不变；控制射频电源逐渐降低辉光放电功率，并根据配方表中生长结束阶段的标准真空压力与第二实时压力的比较结果对射频电源进行控制。该控制方法将真空压力控制与射频电源辉光放电控制进行有机结合，为金刚石生长提供了良好的条件。
公开/授权文献:
- CN112011828B 一种用于金刚石生长的PLC辉光控制方法及装置 公开/授权日：2022-02-18