基本信息:
- 专利标题： 一种片上间接电泵浦的掺铒光波导放大器的混合集成方法
- 申请号：CN202010717378.9 申请日：2020-07-23
- 公开(公告)号：CN111987575B 公开(公告)日：2022-02-18
- 发明人： 王冰 , 肖盼盼
- 申请人： 中山大学
- 申请人地址： 广东省广州市海珠区新港西路135号
- 专利权人： 中山大学
- 当前专利权人： 中山大学
- 当前专利权人地址： 广东省广州市海珠区新港西路135号
- 代理机构： 广州粤高专利商标代理有限公司
- 代理人： 张金福
- 主分类号： H01S3/063
- IPC分类号： H01S3/063 ; H01S3/0933
摘要：
本发明公开了一种片上间接电泵浦的掺铒光波导放大器的混合集成方法，包括以下步骤：S1.在Ⅲ‑Ⅴ族衬底上外延生长Ⅲ‑Ⅴ族多量子阱作为电泵浦源，与硅/二氧化硅进行晶圆键合集成；S2.刻蚀Ⅲ‑Ⅴ族层，开出掺铒波导空间；S3.沉积氮化硅，并用化学机械磨抛进行表面平坦化；S4.刻蚀氮化硅；S5.沉积掺铒增益材料，并用化学机械磨抛进行表面平坦化；S6.刻蚀Ⅲ‑Ⅴ族多量子阱电泵浦源到N‑type层，并制作金属电极；S7.刻蚀Ⅲ‑Ⅴ族多量子阱电泵浦源，制作DBR谐振腔，完成器件制造。本发明降低了工艺复杂度和器件厚度，提高了泵浦效率。
公开/授权文献:
- CN111987575A 一种片上间接电泵浦的掺铒光波导放大器的混合集成方法 公开/授权日：2020-11-24
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01S | 利用受激发射的器件 |
| ------H01S3/00 | 激光器，即利用受激发射对红外光、可见光或紫外线进行产生、放大、调制、解调或变频的器件 |
| --------H01S3/02 | .结构零部件 |
| ----------H01S3/06 | ..激活介质的结构或形状 |
| ------------H01S3/063 | ...波导激光器，例如激光放大器 |