基本信息:
- 专利标题： 扬声器的制作方法
- 申请号：CN202010664523.1 申请日：2020-07-10
- 公开(公告)号：CN111960375B 公开(公告)日：2024-04-02
- 发明人： 程诗阳 , 朱国 , 但强 , 李杨
- 申请人： 瑞声科技(南京)有限公司
- 申请人地址： 江苏省南京市栖霞区仙林大学城元化路南大科学园新兴产业孵化基地研发楼8层
- 专利权人： 瑞声科技(南京)有限公司
- 当前专利权人： 瑞声科技(南京)有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省南京市栖霞区仙林大学城元化路南大科学园新兴产业孵化基地研发楼8层
- 代理机构： 深圳君信诚知识产权代理事务所
- 代理人： 刘伟
- 主分类号： B81B7/02
- IPC分类号： B81B7/02 ; B81C1/00
摘要：
本发明提供了一种扬声器的制作方法，其包括如下步骤：步骤S1，蚀刻所述活塞连杆以及所述第一空腔；步骤S2，沉积支撑层；步骤S3，表面平坦化；步骤S4，形成所述振膜；步骤S5，形成所述压电驱动器；步骤S6，蚀刻所述活塞板；步骤S7，所述第一空腔以及所述活塞连杆的释放。与相关技术相比，本发明的扬声器的制作方法可靠性更好。
公开/授权文献:
- CN111960375A 扬声器的制作方法 公开/授权日：2020-11-20
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B81 | 微观结构技术 |
| ----B81B | 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置 |
| ------B81B7/00 | 微观结构系统 |
| --------B81B7/02 | .包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置，例如微—电子—机械系统（MEMS） |