基本信息:
- 专利标题： 一种LED照明装置及曝光机
- 申请号：CN201910245703.3 申请日：2019-03-28
- 公开(公告)号：CN111752108A 公开(公告)日：2020-10-09
- 发明人： 田翠侠 , 马鹏川 , 夏海 , 于大维 , 胡松立
- 申请人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 申请人地址： 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
- 专利权人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
- 代理机构： 北京品源专利代理有限公司
- 代理人： 孟金喆
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G02B19/00 ; G02B27/09
摘要：
本发明实施例公开了一种LED照明装置及曝光机。该LED照明装置包括：LED光源模块，光源控制模块，匀光模块，成像模块和视场调整模块；所述光源控制模块与所述LED光源模块连接，用于控制所述LED光源模块的发光状态；所述匀光模块用于对所述LED光源模块发出的光束进行匀光；所述视场调整模块用于调整所述匀光模块出射的光束的视场大小；所述成像模块用于将所述视场调整模块出射的光束投射到照明位置。本发明实施例的方案可有效解决照明装置开关延时、照度低和寿命短的问题，提高了边缘曝光的产率和良率，并节约了备件成本。