基本信息:
- 专利标题： 普雷斯顿矩阵产生器
- 申请号：CN201980012030.5 申请日：2019-12-18
- 公开(公告)号：CN111699074A 公开(公告)日：2020-09-22
- 发明人： 锡瓦库马尔·达丹帕尼 , 托马斯·李 , 钱隽
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理人： 徐金国; 赵静
- 优先权： 62/785,165 2018.12.26 US
- 国际申请： PCT/US2019/067257 2019.12.18
- 国际公布： WO2020/139663 EN 2020.07.02
- 进入国家日期： 2020-08-06
- 主分类号： B24B37/005
- IPC分类号： B24B37/005 ; B24B37/20 ; H01L21/67 ; H01L21/306
摘要：
一种产生矩阵以将化学机械抛光系统的多个可控制参数与抛光速率分布相关的方法包括抛光测试基板。使用将第一参数设置为第一值的基线参数值，来针对第一时间段抛光测试基板，并且使用将第一参数设置为修改的第二值的第一修改参数值，来针对第二时间段抛光测试基板。在抛光期间监控测试基板的厚度，并且针对第一时间段决定基线抛光速率分布，并且针对第二时间段决定第一修改抛光速率分布。基于基线参数值、第一修改参数、基线抛光速率分布和第一修改抛光速率分布，来计算矩阵。
公开/授权文献:
- CN111699074B 普雷斯顿矩阵产生器 公开/授权日：2024-05-03
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B24 | 磨削；抛光 |
| ----B24B | 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 |
| ------B24B37/00 | 研磨机床或装置，即需要在相对软但仍为刚性的研具和被研磨表面之间加入粉末状磨料；及其附件 |
| --------B24B37/005 | .研磨机床或装置的控制装置 |