基本信息:
- 专利标题： 一种压阻式柔性三维力传感器阵列及其制备方法
- 申请号：CN202010345205.9 申请日：2020-04-27
- 公开(公告)号：CN111537115A 公开(公告)日：2020-08-14
- 发明人： 王松 , 王琛英 , 蒋庄德 , 牛忠楠 , 张雅馨 , 林启敬 , 田边 , 张亮亮
- 申请人： 西安交通大学
- 申请人地址： 陕西省西安市咸宁西路28号
- 专利权人： 西安交通大学
- 当前专利权人： 西安交通大学
- 当前专利权人地址： 陕西省西安市咸宁西路28号
- 代理机构： 西安通大专利代理有限责任公司
- 代理人： 姚咏华
- 主分类号： G01L1/18
- IPC分类号： G01L1/18
摘要：
本发明公开了一种压阻式柔性三维力传感器阵列及其制备方法，压力敏感层设置于柔性电极层上表面，力分解与封装层设置于压力敏感层上表面；力分解与封装层上表面具有呈阵列分布的凸起状结构；压力敏感层包括压力敏感单元和柔性绝缘填充物，压力敏感层在每个凸起状结构受力后的应力敏感部位下方的对应位置设有N(N≥3)个压力敏感单元，压力敏感单元设置于柔性电极层上表面，柔性绝缘填充物填充于力分解与封装层与柔性电极层之间；柔性电极层包括柔性基底和设置于柔性基底上的电极，每个压力敏感单元与柔性基底之间均设有一对电极，电极上连接有电极引出线。本发明能够进一步提高传感器的柔性且能够减小各压力敏感单元之间的串扰。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01L | 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力 |
| ------G01L1/00 | 力或应力的一般计量 |
| --------G01L1/18 | .应用压电电阻材料的性质，即材料的欧姆电阻随作用于材料上的力的大小或方向的改变而变化的性质 |