基本信息:
- 专利标题： 基于波导平衡探测器的接收装置以及集成方法
- 申请号：CN202010545362.4 申请日：2020-06-16
- 公开(公告)号：CN111508949A 公开(公告)日：2020-08-07
- 发明人： 曹静 , 胡小燕 , 杨丽君 , 李斌 , 赵少宇 , 王伟平 , 郭于鹤洋
- 申请人： 中国电子科技集团公司信息科学研究院
- 申请人地址： 北京市海淀区四道口北街36号院4号楼
- 专利权人： 中国电子科技集团公司信息科学研究院
- 当前专利权人： 中国电子科技集团公司信息科学研究院
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区四道口北街36号院4号楼
- 代理机构： 北京辰权知识产权代理有限公司
- 代理人： 付婧
- 主分类号： H01L25/18
- IPC分类号： H01L25/18 ; H01L27/144 ; H01L21/60 ; G01S7/48
摘要：
本申请实施例中提供了一种基于波导平衡探测器的接收装置以及集成方法，平衡探测器接收装置包括：集成硅光芯片，用于接收空间信号光以及本振光，并通过光电转换得到一组差分光电流信号；读出电路芯片，用于将差分光电流信号转换为数字电压信号；集成硅光芯片包括无源硅光器件以及有源波导平衡探测器，所述集成硅光芯片与所述读出电路芯片通过硅通孔以三维堆叠的方式实现互连集成。本申请的基于波导平衡探测器的接收装置具有集成度高、探测灵敏度高、信噪比高、可拓展至大视场等优势，利用硅通孔技术实现集成硅光芯片与CMOS集成读出电路芯片的三维集成，体积小，结构简单、光损耗小且调节难度低。
公开/授权文献:
- CN111508949B 基于波导平衡探测器的接收装置以及集成方法 公开/授权日：2020-12-01
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L25/00 | 由多个单个半导体或其他固态器件组成的组装件 |
| --------H01L25/18 | .包含在H01L27/00至H01L51/00各组中两个或多个同一大组的不同小组内的类型的器件 |