![非对称平面外加速度计](/CN/2018/8/15/images/201880077298.jpg)
基本信息:
- 专利标题: 非对称平面外加速度计
- 申请号:CN201880077298.2 申请日:2018-08-27
- 公开(公告)号:CN111417594B 公开(公告)日:2021-07-27
- 发明人: M·汤普森 , H·乔哈里-加勒 , L·巴尔达萨雷 , S·尼灿 , K·威廉姆斯
- 申请人: 应美盛股份有限公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚
- 专利权人: 应美盛股份有限公司
- 当前专利权人: 应美盛股份有限公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚
- 代理机构: 中国贸促会专利商标事务所有限公司
- 代理人: 王庆华
- 优先权: 15/828,304 20171130 US
- 国际申请: PCT/US2018/048135 2018.08.27
- 国际公布: WO2019/152075 EN 2019.08.08
- 进入国家日期: 2020-05-29
- 主分类号: B81B5/00
- IPC分类号: B81B5/00 ; G01P15/125 ; G01P15/08
摘要:
一种微机电(MEMS)加速度计,其基于检测质量块围绕旋转轴线的平面外旋转来感测垂直于MEMS加速度计的MEMS装置平面的线性加速度。对称轴线垂直于旋转轴线。检测质量块包括关于对称轴线对称的对称部分,所述对称部分与关于对称轴线不对称的非对称部分相毗邻。
公开/授权文献:
- CN111417594A 非对称平面外加速度计 公开/授权日:2020-07-14
IPC结构图谱:
B | 作业;运输 |
--B81 | 微观结构技术 |
----B81B | 微观结构的装置或系统,例如微观机械装置 |
------B81B5/00 | 由彼此相对移动的元件组成的装置,例如由滑动或转动元件组成 |