基本信息:
- 专利标题： 一种减少硬质阳极裂纹的特殊工艺方法
- 申请号：CN202010238964.5 申请日：2020-03-30
- 公开(公告)号：CN111394767A 公开(公告)日：2020-07-10
- 发明人： 张艳娟 , 杨柳 , 许国庆
- 申请人： 沈阳富创精密设备有限公司
- 申请人地址： 辽宁省沈阳市东陵区飞云路18甲-1号
- 专利权人： 沈阳富创精密设备有限公司
- 当前专利权人： 沈阳富创精密设备有限公司
- 当前专利权人地址： 辽宁省沈阳市东陵区飞云路18甲-1号
- 代理机构： 沈阳优普达知识产权代理事务所
- 代理人： 俞鲁江
- 主分类号： C25D11/16
- IPC分类号： C25D11/16 ; C25D7/00
摘要：
本发明是一种减少硬质阳极裂纹的特殊工艺，主要用于提高半导体关键零部件表面的耐蚀性、耐磨性、耐候性、绝缘性及吸附性；采用的方法是：1)提高抛光质量，使零件在抛光过程中得到足够光滑、无粗纹路的表面；2)抛光后进行碱咬，在反应过程中碱液可以去除铝材的毛边，从而使材料变的光滑；3)碱咬后进行2倍放大镜检测，检测需要阳极表面是否有微小缺陷，确定合格后可继续进行阳极制程；4)硬质阳极，按照阳极处理作业操作，保证零件进阳极槽前保证零件表面无划伤、碰伤外观缺陷。本发明针对于刻蚀设备、离子注入机等关键零部件的关键表面处理。优化硬质阳极的制程来提高这些关键零部件产品质量，进而保证芯片质量。
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C25 | 电解或电泳工艺；其所用设备 |
| ----C25D | 覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸；工件的电解法接合；所用的装置 |
| ------C25D11/00 | 表面反应，即形成转化层的电解覆层 |
| --------C25D11/02 | .阳极氧化 |
| ----------C25D11/04 | ..铝或以其为基之合金的 |
| ------------C25D11/16 | ...预处理 |