基本信息:
- 专利标题： 基于偏振分离成像法的晶粒双面同时完全等光程共焦成像检测的装置与方法
- 申请号：CN202010250856.X 申请日：2020-04-01
- 公开(公告)号：CN111307821A 公开(公告)日：2020-06-19
- 发明人： 廖廷俤 , 黄衍堂 , 颜少彬
- 申请人： 泉州师范学院
- 申请人地址： 福建省泉州市丰泽区东海大街398号
- 专利权人： 泉州师范学院
- 当前专利权人： 泉州师范学院
- 当前专利权人地址： 福建省泉州市丰泽区东海大街398号
- 代理机构： 福州元创专利商标代理有限公司
- 代理人： 林捷; 蔡学俊
- 主分类号： G01N21/88
- IPC分类号： G01N21/88 ; G01N21/03
摘要：
本发明公开一种基于偏振分离成像法的半导体晶粒双面同时完全等光程共焦成像检测的装置及方法，该装置包括在光路方向上依次设置CMOS或CCD偏振相机、远心成像镜头、偏振立方分束器、直角转像棱镜、半导体晶粒和用于承置半导体晶粒的透明玻璃载物台，本发明装置及方法的优点：可实现待测物体相邻双面同时完全等光程共焦偏振成像检测，即△=0，无需使用大景深远心镜头来补偿双面成像的光程差；相邻双面同时偏振成像检测装置结构简单紧凑且装配调试容易。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N21/00 | 利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
| --------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
| ----------G01N21/88 | ..测试瑕疵、缺陷或污点的存在 |