基本信息:
- 专利标题： RAMO
- 申请号：CN201911239070.1 申请日：2019-12-05
- 公开(公告)号：CN111286781B 公开(公告)日：2024-11-12
- 发明人： 领木直矢 , 宫野谦太郎 , 信冈政树 , 石桥明彦
- 申请人： 松下知识产权经营株式会社
- 申请人地址： 日本国大阪府
- 专利权人： 松下知识产权经营株式会社
- 当前专利权人： 松下知识产权经营株式会社
- 当前专利权人地址： 日本国大阪府
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理人： 蒋亭
- 主分类号： C30B25/18
- IPC分类号： C30B25/18 ; C30B29/38 ; C30B29/22 ; C30B15/00 ; H01L21/02
摘要：
本发明涉及RAMO
公开/授权文献:
- CN111286781A RAMO4基板及其制造方法、以及III族氮化物半导体 公开/授权日：2020-06-16