基本信息:
- 专利标题： 用于沉积或处理碳化合物的微波反应器
- 申请号：CN201880057395.5 申请日：2018-08-08
- 公开(公告)号：CN111066120A 公开(公告)日：2020-04-24
- 发明人： 梁奇伟 , 周杰 , 阿迪卜·M·汗 , 高塔姆·皮莎罗蒂 , 陈冠南 , 殷正操 , 斯里尼瓦斯·D·内曼尼
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理人： 徐金国; 赵静
- 优先权： 62/543,914 2017.08.10 US
- 国际申请： PCT/US2018/045820 2018.08.08
- 国际公布： WO2019/032708 EN 2019.02.14
- 进入国家日期： 2020-03-04
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
A plasma reactor for processing a workpiece includes a chamber having a dielectric window, a workpiece support to hold a workpiece in the chamber, a rotary coupling comprising a stationary stage configured to be coupled to a microwave source and a rotatable stage having an axis of rotation, a microwave antenna and overlying the dielectric window of the chamber, a rotary actuator to rotate the microwave antenna, and a process gas distributor including a gas distribution ring surrounding the workpiece support. The microwave antenna includes at least one conduit coupled to the rotary stage. The gas distribution ring including a cylindrical chamber liner separating a circular conduit from the chamber and a plurality of apertures extending radially through the liner to connect the conduit to the chamber.