基本信息:
- 专利标题： 金刚石和形成金刚石的异质外延方法
- 申请号：CN201880056753.0 申请日：2018-09-07
- 公开(公告)号：CN111051257A 公开(公告)日：2020-04-21
- 发明人： J·P·西拉尔多 , J·莱文-迈尔斯
- 申请人： J2原料公司
- 申请人地址： 美国伊利诺伊州
- 专利权人： J2原料公司
- 当前专利权人： J2原料公司
- 当前专利权人地址： 美国伊利诺伊州
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理人： 龚泽亮; 庞东成
- 优先权： 62/555,765 2017.09.08 US
- 国际申请： PCT/US2018/050061 2018.09.07
- 国际公布： WO2019/051299 EN 2019.03.14
- 进入国家日期： 2020-03-02
- 主分类号： C03B25/02
- IPC分类号： C03B25/02 ; C03B29/04 ; C23C16/27
摘要：
形成多个金刚石的方法提供基底，在基底上外延形成第一牺牲层，然后在第一牺牲层上外延形成第一金刚石层。第一牺牲层具有第一材料组成，并且第一金刚石层是与第一材料组成不同的材料。然后，该方法在第一金刚石层上外延形成第二牺牲层，并在第二牺牲层上外延形成第二金刚石层。第二牺牲层具有第一材料组成。基底、第一牺牲层和第二牺牲层以及第一金刚石层和第二金刚石层形成异质外延超晶格。
摘要（英）：
A method of forming a plurality of diamonds provides a base, epitaxially forms a first sacrificial layer on the base, and then epitaxially forms a first diamond layer on the first sacrificial layer. The first sacrificial layer has a first material composition, and the first diamond layer is a material that is different from the first material composition. The method then epitaxially forms a second sacrificial layer on the first diamond layer, and epitaxially forms a second diamond layer on the second sacrificial layer. The second sacrificial layer has the first material composition. The base, first and second sacrificial layers, and first and second diamond layers form a heteroepitaxial super-lattice.
公开/授权文献:
- CN111051257B 金刚石和形成金刚石的异质外延方法 公开/授权日：2022-12-09