基本信息:
- 专利标题： MEMS振动元件的制造方法及MEMS振动元件
- 申请号：CN201880051334.8 申请日：2018-08-08
- 公开(公告)号：CN111051236B 公开(公告)日：2023-08-01
- 发明人： 桥口原 , 古贺英明
- 申请人： 国立大学法人静冈大学 , 株式会社鹭宫制作所
- 申请人地址： 日本静冈县;
- 专利权人： 国立大学法人静冈大学,株式会社鹭宫制作所
- 当前专利权人： 国立大学法人静冈大学,株式会社鹭宫制作所
- 当前专利权人地址： 日本静冈县;
- 代理机构： 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理人： 金成哲; 王莉莉
- 国际申请： PCT/JP2018/029842 2018.08.08
- 国际公布： WO2019/031565 JA 2019.02.14
- 进入国家日期： 2020-02-06
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00 ; B81B3/00 ; H01G5/013 ; H01G7/02 ; H02N2/18 ; H02N11/00
摘要：
本发明提供MEMS振动元件的制造方法，该MEMS振动元件具有固定电极、可动电极、以及相对于固定电极弹性支撑可动电极的弹性支撑部，MEMS振动元件的制造方法包括：对第一厚度的基材进行蚀刻加工来形成固定电极及上述可动电极的工序；和对基材进行蚀刻加工而将弹性支撑部形成为比第一厚度薄的第二厚度的工序。
公开/授权文献:
- CN111051236A MEMS振动元件的制造方法及MEMS振动元件 公开/授权日：2020-04-21
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B81 | 微观结构技术 |
| ----B81C | 专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备 |
| ------B81C1/00 | 在基片内或其上制造或处理的装置或系统 |