基本信息:
- 专利标题： 喷头倾斜机构
- 申请号：CN201880050579.9 申请日：2018-07-16
- 公开(公告)号：CN110997976B 公开(公告)日：2022-06-07
- 发明人： 罗彬 , 蒂莫西·斯科特·托马斯 , 达明·斯莱文 , 大卫·坎普
- 申请人： 朗姆研究公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海胜康律师事务所
- 代理人： 樊英如; 邱晓敏
- 优先权： 15/658,911 20170725 US
- 国际申请： PCT/US2018/042214 2018.07.16
- 国际公布： WO2019/022978 EN 2019.01.31
- 进入国家日期： 2020-02-03
- 主分类号： C23C16/455
- IPC分类号： C23C16/455 ; H01L21/306 ; H01L21/02 ; H01L21/67
摘要：
提供了一种喷头倾斜调节机构，其在半导体衬底处理装置的顶板中支撑喷头模块，该喷头倾斜调节机构包括差动螺丝，该差动螺丝提供粗调和微调，以调节喷头模块的面板的相对于与半导体衬底处理装置中的面板相邻的衬底基座模块的上表面的间隙/倾斜/平坦度。
公开/授权文献:
- CN110997976A 喷头倾斜机构 公开/授权日：2020-04-10