基本信息:
- 专利标题： 一种多重服役条件下柔性铁电薄膜的PFM检测方法
- 申请号：CN201911219275.3 申请日：2019-12-03
- 公开(公告)号：CN110988402A 公开(公告)日：2020-04-10
- 发明人： 蒋丽梅 , 陈强 , 姜杰 , 廖佳佳 , 刘文燕
- 申请人： 湘潭大学
- 申请人地址： 湖南省湘潭市雨湖区羊牯塘27号
- 专利权人： 湘潭大学
- 当前专利权人： 湘潭大学
- 当前专利权人地址： 湖南省湘潭市雨湖区羊牯塘27号
- 代理机构： 北京中政联科专利代理事务所
- 代理人： 郑久兴
- 主分类号： G01Q30/20
- IPC分类号： G01Q30/20 ; G01Q60/00
摘要：
本发明公开了一种多重服役条件下柔性铁电薄膜的PFM检测方法，包括：将柔性铁电薄膜与导电弯曲载台装配，形成弯曲服役柔性铁电薄膜；将弯曲服役柔性铁电薄膜与温控载台装配，形成双重服役柔性铁电薄膜；将双重服役柔性铁电薄膜与高压载台装配，形成多重服役柔性铁电薄膜；利用PFM检测多重服役柔性铁电薄膜的性能。本方法采用PFM作为观测手段，操作方便，可无损观测到样品纳米级的畴结构和电学性能，为柔性铁电薄膜的微观作用机制提供了可靠的研究手段；将PFM仪器中温控载台与高压载台进行了组装与联用，使仪器既可以在高温下，又可以在高压下测量柔性铁电薄膜的性能，为铁电存储器在高温环境下的工作状态提供实验依据。
公开/授权文献:
- CN110988402B 一种多重服役条件下柔性铁电薄膜的PFM检测方法 公开/授权日：2022-12-16
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01Q | 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术 |
| ------G01Q30/00 | 用于辅助或改进扫描探针技术或设备的辅助手段，例如显示或数据处理装置 |
| --------G01Q30/20 | .样品处理装置或方法 |