基本信息:
- 专利标题： 用于与刷子无线通信的方法和设备
- 申请号：CN201880035907.8 申请日：2018-05-24
- 公开(公告)号：CN110720136B 公开(公告)日：2023-11-10
- 发明人： 布拉德利·斯科特·威瑟斯 , 科里·艾伦·休斯 , 埃里克·斯科特·纳尔逊 , 史蒂芬·肯尼斯·克里斯蒂 , 布伦特·艾伦·贝斯特
- 申请人： 伊利诺斯工具制品有限公司
- 申请人地址： 美国伊利诺伊州
- 专利权人： 伊利诺斯工具制品有限公司
- 当前专利权人： 伊利诺斯工具制品有限公司
- 当前专利权人地址： 美国伊利诺伊州
- 代理机构： 上海脱颖律师事务所
- 代理人： 脱颖
- 国际申请： PCT/US2018/034360 2018.05.24
- 国际公布： WO2018/222492 EN 2018.12.06
- 进入国家日期： 2019-11-29
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67
摘要：
提供被配置成清洁(例如)半导体晶片的表面的具有通信能力的刷子、以及可与刷子通信的离线刷子调节系统和CMP系统的实施例的公开内容。
公开/授权文献:
- CN110720136A 用于与刷子无线通信的方法和设备 公开/授权日：2020-01-21
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/67 | .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置 |