基本信息:
- 专利标题： 用于在超净条件下进行制造的组合式建筑物和传送结构
- 专利标题（英）：Integrated building and conveying structure for manufacturing under ultraclean conditions
- 申请号：CN94104367.3 申请日：1994-04-18
- 公开(公告)号：CN1106887A 公开(公告)日：1995-08-16
- 发明人： 理查德·G·斯科特 , 克雷格·R·沙克尔顿 , 雷蒙德·W·埃利斯
- 申请人： 塞米泰克股份有限公司
- 申请人地址： 美国德克萨斯州
- 专利权人： 塞米泰克股份有限公司
- 当前专利权人： 塞米泰克股份有限公司
- 当前专利权人地址： 美国德克萨斯州
- 代理机构： 上海专利商标事务所
- 代理人： 孙敬国
- 优先权： 121,621 1993.09.14 US
- 主分类号： E04H5/02
- IPC分类号： E04H5/02
摘要：
一种用于半导体制造设施的建筑物，具有圆形多层结构。一筒仓位于其中央位置，用于存储晶片，以及把晶片输运至每一楼面环绕所述筒仓呈径向分布的各净化室。禁止人员进入此筒仓和净化室，从而防止对晶片的污染。由于净化室结构具有模块特征，可以方便地对净化室进行重新组合，而不会对正在进行中的制造运行产生重大影响。在不需要的时候，由于结构的模块特性，还可以拆除部分设施。
IPC结构图谱:
| E | 固定建筑物 |
| --E04 | 建筑物 |
| ----E04H | 专门用途的建筑物或类似的构筑物；游泳或喷水浴槽或池；桅杆；围栏；一般帐篷或天篷 |
| ------E04H5/00 | 工农业用的建筑或建筑群 |
| --------E04H5/02 | .工业建筑物或建筑群，例如，发电站，工厂 |