基本信息:
- 专利标题： 光学检测方法、光学检测装置及光学检测系统
- 专利标题（英）：OPTICAL INSPECTION METHOD, OPTICAL INSPECTION DEVICE AND OPTICAL INSPECTION SYSTEM
- 申请号：CN201811366351.9 申请日：2018-11-16
- 公开(公告)号：CN110658198A 公开(公告)日：2020-01-07
- 发明人： 安比卡帕 , 亚鲁木鲁甘 , 徐敏堂 , 陆家樑 , 方志恒
- 申请人： 由田新技股份有限公司
- 申请人地址： 中国台湾新北市中和区连城路268号10楼之1
- 专利权人： 由田新技股份有限公司
- 当前专利权人： 由田新技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾新北市中和区连城路268号10楼之1
- 代理机构： 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理人： 罗英; 臧建明
- 优先权： 107122594 2018.06.29 TW
- 主分类号： G01N21/88
- IPC分类号： G01N21/88
摘要：
本发明的实施例提供一种光学检测方法，其用于包括光学镜头的光学检测装置。所述方法包括：经由所述光学镜头获取待测物的第一图像；对所述第一图像执行边缘检测，以获得具有边缘图案的第二图像；以及基于神经网络架构对所述第二图像执行瑕疵检测操作，以检测所述第二图像中的瑕疵图案。此外，本发明的实施例也提供一种光学检测装置与光学检测系统。
摘要（英）：
An optical inspection method for an optical inspection device comprising an optical lens is provided according to an embodiment of the disclosure. The optical inspection method includes: obtaining a first image of an object by the optical lens; performing an edge detection on the first image to obtain a second image comprising an edge pattern; and performing a defect inspection operation on the second image based on a neural network architecture to inspect a defect pattern in the second image. In addition, an optical inspection device and an optical inspection system are provided according toembodiments of the disclosure.
公开/授权文献:
- CN110658198B 光学检测方法、光学检测装置及光学检测系统 公开/授权日：2023-04-18
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N21/00 | 利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
| --------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
| ----------G01N21/88 | ..测试瑕疵、缺陷或污点的存在 |