基本信息:
- 专利标题： 一种法拉第清洗装置及等离子体处理系统
- 申请号：CN201910783185.0 申请日：2019-08-23
- 公开(公告)号：CN110491760B 公开(公告)日：2020-09-15
- 发明人： 刘海洋 , 胡冬冬 , 刘小波 , 李娜 , 程实然 , 郭颂 , 吴志浩 , 许开东
- 申请人： 江苏鲁汶仪器有限公司
- 申请人地址： 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号
- 专利权人： 江苏鲁汶仪器有限公司
- 当前专利权人： 江苏鲁汶仪器股份有限公司
- 当前专利权人地址： 221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号
- 代理机构： 南京经纬专利商标代理有限公司
- 代理人： 石艳红
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
摘要：
本发明提供一种法拉第清洗装置及等离子体处理系统，包括反应腔室、偏置电极、晶圆、腔盖、耦合窗、进气喷嘴、立体式线圈以及法兰第层，腔盖上端面安装有耦合窗，反应腔室上端面安装有腔盖，反应腔室内部装配有偏置电极，偏置电极上端面安装有晶圆，耦合窗内部装配有进气喷嘴，耦合窗上端面安装有法兰第层，法兰第层上端面装配有立体式线圈，因本发明添加了耦合窗、进气喷嘴、立体式线圈以及法兰第层，该设计解决了原有法拉第清洗装置及等离子体处理系统使用效果不佳的问题，本发明结构合理，便于组合安装，清理效果好，实用性强。
公开/授权文献:
- CN110491760A 一种法拉第清洗装置及等离子体处理系统 公开/授权日：2019-11-22